POWER & PLASMAS
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Accessoire Ascent DMS
Advanced EnergyModèle : Ascent® DMS
- Puissance de 40, 60 ou 120 kW
- Tension jusqu'à 1000 Vdc
- Courant jusqu'à 400 A
- Description produit :
- La série Ascent® DMS permet d'utiliser les Ascent® AMS pour la pulvérisation à double magnétron et un réglage précis des caractéristiques du film. Grâce à la sélection de la fréquence, du mode de régulation et du rapport cyclique, ainsi qu'à la faible énergie stockée et la configuration simplifiée et modulaire du système, l'accessoire Ascent DMS se distingue comme une véritable technologie de nouvelle génération. Rentable, évolutif et polyvalent, il minimise la complexité, augmente la qualité et accroît le débit pour permettre l'innovation dans les processus avancés.
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Ascent AMS
Advanced EnergyModèle : Ascent® AMS
- Puissance de 30, 40 ou 60 kW
- Tension de 300 à 1000 Vdc
- Description produit :
- Les alimentations Ascent® AMS fournissent une puissance stable et reproductible, quel que soit le matériau du procédé ou la conception de la cathode. L'AMS assure une gestion avancée des arcs, ce qui permet de délivrer une puissance maximale avec une reprise plus rapide du processus. Une récupération extrêmement rapide signifie également moins d'énergie délivrée par les arcs, ce qui évite d'endommager le substrat.
- Pour les applications de forte puissance, l'Ascent AMS peut être utilisé en configuration primaire/secondaire pour des configurations de puissance supérieures à 100 kW. Cependant, la conception du refroidissement combiné eau/air permet de réduire au minimum l'encombrement du générateur.
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Boite d’accord Navigator®
Advanced EnergyModèle : Navigator®
- Pour des générateurs RF jusqu'à 30 kW
- Fréquence de 400 kHz à 60 MHz
- Description produit :
- Le Navigator® ll est équipé de moteurs pas à pas contrôlés par microprocesseur et d'algorithmes de réglage avancés permettant d'optimiser la puissance RF. Un capteur RF interne Z'Scan® II en option fournit une analyse en temps réel de la puissance et de l'impédance du processus - vous permettant d'identifier rapidement et de réduire de manière significative la variabilité du processus. Le logiciel Virtual Front Panel est disponible en option pour la surveillance et le contrôle par l'intermédiaire de l'ordinateur de l'utilisateur.
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E-CHUCK
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
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Générateur DC Pinnacle
Advanced EnergyModèle : Pinnacle®
- Puissance de 6 à 20 kW
- Tension jusqu'à 1000 Vdc (sans tap)
- Version simple et double sortie
- Description produit :
- Les générateurs Pinnacle® DC, qui ont fait leurs preuves sur le terrain, offrent un contrôle remarquable des processus, ce qui réduit considérablement les variations et augmente les rendements. Ce boîtier compact et polyvalent offre une gestion exceptionnelle des arcs avec une faible énergie stockée, une réponse rapide aux arcs et une large plage d'impédance à pleine puissance.
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Générateur AC
Advanced EnergyModèle : Crystal
- Produit Obsolète
- Description produit :
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Générateur Ascent AP
Advanced EnergyModèle : Ascent® AP
- Puissance de 15 ou 30 kW
- Tension jusqu'à 1000 Vdc
- Frequence de 0.5 à 150 kHz
- Version simple ou double magnetron
- Description produit :
- Les alimentations Ascent® AP offrent un contrôle sans précédent du plasma dans une solution compacte pour la pulvérisation à magnétron unique et à magnétron double. La technologie pulsée brevetée d'Advanced Energy permet une prévention remarquable des arcs, des niveaux de puissance plus élevés et un débit accru. Les paramètres de contrôle complets et la large gamme opérationnelle de l'Ascent AP permettent de débloquer des options de matériaux afin d'étendre la flexibilité du processus et l'innovation en matière de matériaux.
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Générateur Basse fréquence PEII
Advanced EnergyModèle : PE II
- Puissance de 5 ou 10 kW
- Fréquence :
- 40 kHz
- Tension de sortie :
- 300 à 950 V (avec tap)
- Description produit :
- La série PEII à basse fréquence fournit un signal à 40 kHz. Elle est dotée d'un contrôle avancé des arc et d'une adaptation interne de la charge avec des sorties pouvant atteindre 60 kW lorsque les unités sont combinées - ne nécessitant aucun matériel externe, tel que des transformateurs ou des tuners. L'alimentation offre également deux circuits distincts de gestion de l'arc, et la sortie flottante peut être mise à la terre des deux côtés. Les alimentations PEII sont refroidies par eau, sont conformes à la norme CE et comprennent de nombreux accessoires en option.
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Générateur DC pulsé Pinnacle plus
Advanced EnergyModèle : Pinnacle® Plus+
- Puissance de 1.5 à 10 kW
- Tension jusqu'à 800 Vdc (sans tap)
- Pulses de 0 à 350 kHz
- Version simple et double sortie
- Description produit :
- Les alimentations Pinnacle® Plus+ d'Advanced Energy offrent tous les avantages d'une solution de courant continu pulsé pour les procédés réactifs - dans un ensemble intégré qui augmente l'efficacité du procédé, réduit les coûts et offre une flexibilité supérieure. En combinant la technologie DC standard et notre technologie DC pulsée brevetée, les alimentations Pinnacle Plus+ offrent des taux de dépôt plus élevés, des performances plus répétables et une qualité de film exceptionnelle par rapport aux solutions AC compliquées et coûteuses.