CLEANSORB® FABLINE

CLEANSORB® FABLINE

Pour colonne 70L, 100L ou 200L

Détection de fin de capacité de la colonne :

"Endpoint", capteur électrochimique

*Option "Mini-Absorber"

Abattement des gaz résiduels dans la ligne de bypass)

Contrôle en face avant

Affichage LED statut , pilotage via un automate.

Sorties relais et Interface digitale

RS232

Description produit :

Le système FABLINE est le modèle standard pour l’élimination des gaz nocifs dans le cadre de la Production. Il est disponible en trois tailles et peut être adapté de manière optimale aux exigences d’une ligne pilote tout comme à une usine de production. Avec plusieurs milliers de systèmes d’absorption sur lit sec ("dry bed") installés dans le monde entier, le FABLINE est le modèle idéal grâce aux granulés CLEANSORB® exclusifs. Combinant sécurité et efficacité, il couvre un large éventail d’applications:

Gravure Plasma ("Etch"), CVD, ALD, Implantation Ionique et CIGS Photovoltaïque.

Les avantages :

Principe de fonctionnement passif :

sans électricité, chauffage, carburant ou eau.

Composants inox 316L résistant à la corrosion, haute qualité et faibilité

Des routines automatiques de test de fuite (par tenue en pression) et de purge par gaz inerte simplifient le remplacement de la colonne

Large éventail de configurations et d'options, dont un ventilateur.

Disponible en version conforme norme SEMI-S2, avec fonctions de sécurité redondantes.