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Rapid OX
Advanced EnergyModèle : Rapid OX
- Puissance jusqu'à 6kW
- Pour nettoyage Oxygène
- Description produit :
- Avec un revêtement de chambre en quartz unique, insérable et amovible par l'utilisateur, le Rapid OX d'Advanced Energy est optimal pour les procédés à base d'oxygène.
- Idéal pour le nettoyage des chambres de photorésist et de carbone :
- Le revêtement en quartz réduit la recombinaison de l'oxygène et assure un transport efficace des espèces réactives vers la chambre de traitement.
- Des performances parfaites :
- 6 kW de puissance pour dissocier l'oxygène avec une fréquence variable et un contrôle de la puissance.
- Conception fiable :
- La conception de la chambre et de l'insert amovible offre une meilleure fiabilité que les chambres entièrement en quartz
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Source plasma LITMAS
Advanced EnergyModèle : Litmas® RPS
- Chambre SiO2 ou Al2O3
- Description produit :
- Litmas est une source de plasma tout-en-un combinant l'alimentation, la boite d'accord LitmasMatch™ et la chambre à plasma dans un seul châssis compact.
- Solution d'abatement des gaz au point d'utilisation à faible encombrement.
- Destruction efficace et hautement fiable avec une consomation minimale des utilités.
- Coût d'utilisation inférieur à celui des solutions concurrentes
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Source plasma XSTREAM
Advanced EnergyModèle : Xstream® RPS
- Puissance de 8 ou 10 kW
- Description produit :
- Construite pour durer et surpasser la concurrence, la source de plasma à distance (RPS) Xstream est idéale pour le nettoyage des chambres. Elle est dotée d'une méthode et d'un algorithme d'allumage brevetés ainsi que d'une chambre en alliage d'aluminium anodisé dur.
- Des performances éprouvées :
- Une fiabilité inégalée avec des performances éprouvées sur le terrain
- Méthode d'allumage unique :
- Réduisez les temps d'arrêt de l'outil grâce à un allumage au plasma fiable.
- Pas besoin de revêtements coûteux :
- Un alliage personnalisé et une anodisation avancée garantissent une plus longue durée de vie de la chambre.
- Nettoyage rapide de chambre :
- Taux élevé de dissociation des gaz d'alimentation pour un fonctionnement efficace.