DESTRUCTION D'EFFLUENTS GAZEUX
Tous nos produits
-
CLEAN-PROTECT
CS Clean SolutionsModèle : CP200(SF) | CP500(SF) | CP1000(SF)
- Convient à l'absorption de nombreux gaz nocifs :
- AsH3, BF3, Br2, Cl2, ClF3, COCl2, F2, HCl, HF, HBr, H2S, H2Se, HCN, NH3, N2H4, PH3, SO…
- Disponible en 3 tailles de cuve
- 200, 500, 1000L
- Débit d'extraction jusqu'à 3600Nm3/H
- Pré-filtre à particules (optionnel)
- Montage horizontal ou vertical
- Description produit :
- Les gaz dangereux communément utilisés dans les industries chimiques, pharmaceutiques et microélectroniques sont généralement conditionnés dans des bouteilles, elles-mêmes stockées dans des armoires sous extraction.
- Le CLEAN-PROTECT est conçu pour absorber les gaz toxiques ou dangereux en cas de fuite accidentelle dans ces "gas cabinets" ou dans les bunkers.
- Ce dispositif de sécurité éprouvé assure la protection de beaucoup d'installations et de leur voisinage partout à travers le monde depuis plus de 30 ans.
- Le système CLEAN-PROTECT contient du CLEANSORB®, un chimisorbant sec. Les gaz qui s’échappent subissent une réaction chimique irréversible (oxydation ou neutralisation) au sein du système CLEAN-PROTECT, où ils sont transformés en toute sécurité en sous-produits solides. Le système est installé en ligne avec les conduits d’extraction d’air situés en aval et ne nécessite aucune alimentation ou autre installation pour fonctionner, ce qui signifie qu’il est constamment en veille.
- Les avantages :
- Applicable à un grand nombre de gaz dangereux dont :
- AsH3, BF3, Br2, Cl2, ClF3, COCl2, F2, HCl, HF, HBr, H2S, H2Se, HCN, NH3, N2H4, PH3, SO2 (nous consulter)
- Adapté à des débits d'extraction d'air élevés, protection de plusieurs gas cabinets
- Capacité d'absorber une bouteille complète
- Faible perte de charge
- Constamment en veille, pratiquement sans maintenance
- Totalement passif - aucune connexion électrique nécessaire
- Durée de vie typique entre 2 recharges de l'absorbeur :
- 5 ans
-
CLEANSORB® FABLINE
CS Clean SolutionsModèle : CS070FS | CS100FS | CS200FS
- Pour colonne 70L, 100L ou 200L
- Détection de fin de capacité de la colonne :
- "Endpoint", capteur électrochimique
- *Option "Mini-Absorber"
- Abattement des gaz résiduels dans la ligne de bypass)
- Contrôle en face avant
- Affichage LED statut , pilotage via un automate.
- Sorties relais et Interface digitale
- RS232
- Description produit :
- Le système FABLINE est le modèle standard pour l’élimination des gaz nocifs dans le cadre de la Production. Il est disponible en trois tailles et peut être adapté de manière optimale aux exigences d’une ligne pilote tout comme à une usine de production. Avec plusieurs milliers de systèmes d’absorption sur lit sec ("dry bed") installés dans le monde entier, le FABLINE est le modèle idéal grâce aux granulés CLEANSORB® exclusifs. Combinant sécurité et efficacité, il couvre un large éventail d’applications:
- Gravure Plasma ("Etch"), CVD, ALD, Implantation Ionique et CIGS Photovoltaïque.
- Les avantages :
- Principe de fonctionnement passif :
- sans électricité, chauffage, carburant ou eau.
- Composants inox 316L résistant à la corrosion, haute qualité et faibilité
- Des routines automatiques de test de fuite (par tenue en pression) et de purge par gaz inerte simplifient le remplacement de la colonne
- Large éventail de configurations et d'options, dont un ventilateur.
- Disponible en version conforme norme SEMI-S2, avec fonctions de sécurité redondantes.
-
CLEANSORB® LABLINE
CS Clean SolutionsModèle : CS025LS | CS070LS
- Pour colonne 25L ou 70L
- Panneau de contrôle en face avant :
- Activation bypass et système d'échantillonnage gaz, LED de statut,...
- Détection de fin de capacité de la colonne :
- "Endpoint", capteur électrochimique
- *Option "Mini-Absorber"
- Abattement des gaz résiduels dans la ligne de bypass)
- Description produit :
- Le CLEANSORB LABLINE est équipé d'une petite colonne intégrée dans un cabinet compact sous extraction d'air. Sa capacité à absorber de manière passive les gaz dangereux à température ambiante est avantage majeur dans les travaux de laboratoire discontinus puisque le LABLINE n'a pas à être redémarré à chaque début d'expérience (ou de "run").
- La grande séléctivité des granulés chimisorbant CLEANSORB® à une liste variée de gaz et de précurseurs liquides, depuis les espèces corrosives ou toxiques jusqu'aux dernières générations de complexes organo-métalliques, offre une flexibilité idéale pour les besoins de R&D.
- Les avantages :
- Coûts d'installation négligeables dans un environnement labo, simple d'opération
- Longue durée de vie de la colonne dans les applications R&D :
- faibles coûts de fonctionnement
- Peut être utilisé comme système d'abattement commun pour les évents de purges de plusieurs gas cabinets
- Contrôle en façade et affichage des paramètres, interface par relais contacts et signal digital.
-
CLEANSORB® PRIMELINE
CS Clean SolutionsModèle : CLEANSORB© PRIMELINE
- Différentes configurations (PS / PD) de colonnes :
- Principales (70, 100, 200L) et "backup" (25L)
- Fonctionnement avec sécurité intégrée
- Composants certifiés SIL
- Contrôle en face avant
- Affichage LED statut (PS) ou écran tactile (PD), pilotage via un automate
- Sorties relais et Interface digitale
- RS232 ou RS422 (PS) ou TCP/IP (PD)
- Description produit :
- La série PRIMELINE représente la version la plus complète des systèmes d'abattement de gaz d'exhaust "dry bed" de la famille CLEANSORB.
- Ce système est spécialement conçu pour gérer les débits de gaz et toutes les conditions de fonctionnement annexes dans les applications de process critiques d'un point de vue sécurité - notamment celles de dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs métallo-organiques (MOCVD).
- Les modèles CLEANSORB PS, de taille plus réduite, intègre une colonne de "back-up", permettant de terminer un process en cours même lorsque la capacité maximale de la colonne absorbante principale a été atteinte. Le modèle CLEANSORB PD, plus imposant, comporte 2 colonnes principales ainsi qu'une colonne de "back-up"; une colonne principale peut ainsi rester active pour l'absorption des gaz d'exhausts (protection de sécurité conforme à la norme SEMI-S2), pendant que la 2e colonne principale est purgée indépendamment avant retrait du cabinet pour reconditionnement (remplissage).
- Les avantages :
- Granulés chimisorbant CLEANSORB® dédiés à des gaz de MOCVD critiques tels que AsH3, PH3 ou GeH4
- Optimisés pour la gestion thermique sécurisée des procédés "fort débit" d'épitaxie Silicium et III-V
- Fonctions de sécurité uniques telles que monitoring de température par infrarouge et refroidissement par gaz inerte
- Contrôle par écran tactile (modèle PD) avec routines automatiques.
- Disponible en version conforme norme SEMI-S2 avec fonctionnalités de sécurité redondantes
-
CLEANSORB® STANDALONE
CS Clean SolutionsModèle : CS025SA | CS070SA
- Disponible en version 25 ou 70L
- Colonnes en inox 316L, avec code UN (autorisées pour le transport ADR)
- Vannes d'isolation intégrées (entrée/sortie)
- Options au choix :
- détecteur d'endpoint (fin de capacité de colonne), capteur de pression, cabinet exhausté,...
- Description produit :
- Pour des travaux de recherche à petite échelle, il est possible d’utiliser des colonnes d’absorption autonomes ("Stand-alone") afin d’éliminer les concentrations de gaz résiduelles en aval de l’enceinte expérimentale. Plusieurs éléments de sécurité sont disponibles en tant qu’accessoires, notamment un cabinet exhausté, ainsi que des options de contrôle ou détection de pression de gaz en aval.
- La capacité à chimisorber passivement des gaz dangereux à température ambiante constitue un avantage particulier pour les travaux de laboratoire intermittents, car l’absorbeur, de faible encombrement, est toujours prêt et n’a pas besoin d’être chauffé ni activé d’une autre manière à chaque nouvelle expérimentation.
- Les avantages :
- Solution économique pour les laboratoires de "petite échelle" et les travaux expérimentaux.
- Faible encombrement - peut être intégré à un équipement R&D d'ALD, CVD ou équivalent.
- Plusieurs accessoires disponibles pour "upgrader" le système
-
CLEANVENT
CS Clean SolutionsModèle : CV02S
- Convient à l'absorption de nombreux gaz nocifs :
- AsH3, BF3
- , Br2, CO, Cl2, ClF3, COCl2, F2, GeH4, HCl, HF, Br, H2S, H2Se, HCN, NH3, N2H4, PH3, SiH4, SiH2Cl2, SO2, TEOS, WF6,...
- Entrées / Sorties compatibles 1/4'' VCR®
- Dimensions :
- H 40.0 x D 11.4 cm
- Poids :
- 8.0Kg max.
- Equerres et sangle pour fixation murale incluses.
- Description produit :
- Avant l'installation d'une nouvelle bouteille de gaz, il convient de purger le restant de gaz dans les lignes de l'installation, pour des raisons de sécurité et de qualité du gaz fourni au process. Ce volume mort de gaz résiduel peut être très concentré, toxique, pyrophorique ou corrosif - ce qui peut représenter un risque non négligeable de sécurité.
- Depuis près de 25 ans, la cartouche CLEANVENT a prouvé son efficacité en tant que solution sûre d'abattement des gaz de purge dangereux.
- Les avantages :
- Abattement "à la source" des gaz d'évents d'un gas cabinet ou d'une VMB
- Conversion sûre et irreversible des gaz en sous-produits solides à température ambiante
- Cartouches disponibles pour + 100 gaz et précurseurs organo-métalliques*Retraitement et remplissage des cartouches dans les centres de service agréés CS CLEAN partout dans le monde.