RF

Tous nos produits

  • Boite d’accord Navigator®

    Advanced EnergyModèle : Navigator®
    Pour des générateurs RF jusqu'à 30 kW
    Fréquence de 400 kHz à 60 MHz
    Description produit :
    Le Navigator® ll est équipé de moteurs pas à pas contrôlés par microprocesseur et d'algorithmes de réglage avancés permettant d'optimiser la puissance RF. Un capteur RF interne Z'Scan® II en option fournit une analyse en temps réel de la puissance et de l'impédance du processus - vous permettant d'identifier rapidement et de réduire de manière significative la variabilité du processus. Le logiciel Virtual Front Panel est disponible en option pour la surveillance et le contrôle par l'intermédiaire de l'ordinateur de l'utilisateur.
    Fiche technique

  • Générateur Paramount RF

    Advanced EnergyModèle : Paramount® RF
    Puissance de 1.5 à 10 kW
    Fréquences :
    2, 13, 27, 40 et 60 MHz
    Fréquence variable et pulsé
    Description produit :
    Faites progresser le développement de vos processus en mettant l'accent sur la flexibilité de fonctionnement. Les générateurs RF Paramount® offrent une large gamme de fréquences et de puissances, prennent en charge de multiples scénarios d'intégration et sont équipés d'interfaces série ou analogiques standard. La Paramount HP 10013 offre une puissance plus élevée permettant une densité de plasma et une énergie ionique élevées requises par les dispositifs à rapport d'aspect élevé et accélère le processus pour le prochain nœud des outils de traitement des semi-conducteurs.
    L'architecture numérique de la plateforme Paramount permet une gestion précise de la puissance et rationalise l'intégration de nouvelles fonctions - aucun délai ni changement de matériel n'est nécessaire. La détection en temps réel des changements de plasma permet d'obtenir une puissance de sortie élevée et des performances reproductibles. Et les limites de protection internes facilitent un fonctionnement fiable.
    Fiche techniqueFiche technique

  • Générateur RF

    Advanced EnergyModèle : Cesar
    Contrôle en face avant
    Large gamme de fréquence :
    2, 4, 13.56, 27.12 et 40.68 MHz
    Rack 19''
    Description produit :
    Robuste et polyvalent, le Cesar fournit une excellente puissance RF sur une large gamme de fréquences et de puissances de sortie.
    Les générateurs RF Cesar sont dotés de menus d'utilisation très intuitifs - accessibles sur les grands écrans LCD du panneau avant - qui augmentent l'efficacité et minimisent les coûts de formation.
    Fiche technique

  • Générateur RF APEX

    Advanced EnergyModèle : Apex®
    Puissance de 1.5 à 10 kW
    Fréquences :
    13,56 MHz
    Description produit :
    Les générateurs RF Apex® présente une conception compacte et modulaire adaptée au montage en chambre. Utilisant une technologie de conversion RF sophistiquée, les générateurs RF et les systèmes d'alimentation Apex offrent une fiabilité accrue des produits et des processus. Les capacités de puissance à haute densité les rendent idéaux pour les procédés plasma avancés. Et les différents modèles de communication et les caractéristiques configurables vous permettent de personnaliser votre plate-forme et d'explorer des approches d'intégration. Aucun délai de livraison de générateurs personnalisés n'est nécessaire.
    Fiche technique

  • Hilight

    Advanced EnergyModèle : HiLight™
    Produit Legacy
    Puissance 300 ou 600 W
    Fréquence 1, 2 ou 13.56 MHz
    Description produit :
    Compacts, légers et refroidis par air, les générateurs RF HiLight™ sont idéaux pour les applications embarquées de faible puissance, adaptés au plasma 13,56 MHz et aux procédés 1 ou 2 MHz.

  • Integro

    Advanced EnergyModèle : Integro
    Produit Legacy
    Puissance 300 ou 600 W
    Fréquence 13.56 MHz
    Description produit :
    Combiné générateur et boite d'accord

  • Navio

    Advanced EnergyModèle : Navio™
    Pour des générateurs RF jusqu'à 5 kW
    Fréquence de 13 à 60 MHz
    Interface compatible générateur Cesar
    Description produit :
    La boite d'accord Navio offre une adaptation d'impédance rapide, précise et reproductible pour de nombreuses applications.
    Installation plug-and-play avec les alimentations RF d'Advanced Energy pour les applications à couche mince.
    Fourniture de puissance efficace et stable
    Compact et refroidi par air (boîtier standard ou version mince)
    Fiche technique

  • RF

    Advanced Energy
    Etiquette
    Produit Obsolète
    Description produit :
    Retrofit possible vers Cesar

  • RFDS

    Advanced Energy
    Etiquette
    Produit Obsolète
    Description produit :
    Retrofit possible vers OR 4000

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