CLEANSORB® PRIMELINE

CLEANSORB® PRIMELINE

Différentes configurations (PS / PD) de colonnes :

Principales (70, 100, 200L) et "backup" (25L)

Fonctionnement avec sécurité intégrée

Composants certifiés SIL

Contrôle en face avant

Affichage LED statut (PS) ou écran tactile (PD), pilotage via un automate

Sorties relais et Interface digitale

RS232 ou RS422 (PS) ou TCP/IP (PD)

Description produit :

La série PRIMELINE représente la version la plus complète des systèmes d'abattement de gaz d'exhaust "dry bed" de la famille CLEANSORB.

Ce système est spécialement conçu pour gérer les débits de gaz et toutes les conditions de fonctionnement annexes dans les applications de process critiques d'un point de vue sécurité - notamment celles de dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs métallo-organiques (MOCVD).

Les modèles CLEANSORB PS, de taille plus réduite, intègre une colonne de "back-up", permettant de terminer un process en cours même lorsque la capacité maximale de la colonne absorbante principale a été atteinte. Le modèle CLEANSORB PD, plus imposant, comporte 2 colonnes principales ainsi qu'une colonne de "back-up"; une colonne principale peut ainsi rester active pour l'absorption des gaz d'exhausts (protection de sécurité conforme à la norme SEMI-S2), pendant que la 2e colonne principale est purgée indépendamment avant retrait du cabinet pour reconditionnement (remplissage).

Les avantages :

Granulés chimisorbant CLEANSORB® dédiés à des gaz de MOCVD critiques tels que AsH3, PH3 ou GeH4

Optimisés pour la gestion thermique sécurisée des procédés "fort débit" d'épitaxie Silicium et III-V

Fonctions de sécurité uniques telles que monitoring de température par infrarouge et refroidissement par gaz inerte

Contrôle par écran tactile (modèle PD) avec routines automatiques.

Disponible en version conforme norme SEMI-S2 avec fonctionnalités de sécurité redondantes