CLEANSORB® PRIMELINE
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CLEANSORB® PRIMELINE
CS Clean SolutionsModèle : CLEANSORB© PRIMELINE- Différentes configurations (PS / PD) de colonnes :
- Principales (70, 100, 200L) et "backup" (25L)
- Fonctionnement avec sécurité intégrée
- Composants certifiés SIL
- Contrôle en face avant
- Affichage LED statut (PS) ou écran tactile (PD), pilotage via un automate
- Sorties relais et Interface digitale
- RS232 ou RS422 (PS) ou TCP/IP (PD)
- Description produit :
- La série PRIMELINE représente la version la plus complète des systèmes d'abattement de gaz d'exhaust "dry bed" de la famille CLEANSORB.
- Ce système est spécialement conçu pour gérer les débits de gaz et toutes les conditions de fonctionnement annexes dans les applications de process critiques d'un point de vue sécurité - notamment celles de dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs métallo-organiques (MOCVD).
- Les modèles CLEANSORB PS, de taille plus réduite, intègre une colonne de "back-up", permettant de terminer un process en cours même lorsque la capacité maximale de la colonne absorbante principale a été atteinte. Le modèle CLEANSORB PD, plus imposant, comporte 2 colonnes principales ainsi qu'une colonne de "back-up"; une colonne principale peut ainsi rester active pour l'absorption des gaz d'exhausts (protection de sécurité conforme à la norme SEMI-S2), pendant que la 2e colonne principale est purgée indépendamment avant retrait du cabinet pour reconditionnement (remplissage).
- Les avantages :
- Granulés chimisorbant CLEANSORB® dédiés à des gaz de MOCVD critiques tels que AsH3, PH3 ou GeH4
- Optimisés pour la gestion thermique sécurisée des procédés "fort débit" d'épitaxie Silicium et III-V
- Fonctions de sécurité uniques telles que monitoring de température par infrarouge et refroidissement par gaz inerte
- Contrôle par écran tactile (modèle PD) avec routines automatiques.
- Disponible en version conforme norme SEMI-S2 avec fonctionnalités de sécurité redondantes