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  • Piège pour le vide

    Mass VacModèle : Posi®Trap
    Large gamme de matériaux de filtres
    Maintenance simple
    Aucun retour de contaminants
    Description produit :
    Le POSI-TRAP se compose d'un corps en acier inoxydable, disponible en deux tailles. Les deux modèles peuvent être équipés de ports en ligne ou à 90°. Les filtres du POSI-TRAP sont scellés à l'entrée et à la sortie pour permettre le piégeage de l'ensemble du flux de gaz.
    Les filtres du POSI-TRAP sont livrés avec l'appareil. Vous pouvez sélectionner l'élément filtrant choisi en ajoutant le code de filtre correspondant.
  • Piège pour le vide

    Mass VacModèle : Visi®Trap
    Large gamme de matériaux de filtres
    Maintenance simple, sans démonter le piège de la ligne
    Protège le process des rétrodiffusions d'huile
    Description produit :
    Les pièges VISI-TRAP se composent d'un carter en plastique transparent avec un filtre à particules pour protéger les pompes contre la corrosion ou le vide contre le reflux de l'huile de la pompe.
    Il existe deux tailles de filtre (4,5" ou 9,5") et une large gamme d'éléments filtrants et d'adaptateurs de raccordement pour votre application.
  • Piège pour le vide, multi étage

    Mass VacModèle : MV Multi-Trap®
    Protection des pompes à palettes et pompes sèches
    Grande capacité, haute conductance
    Protège le process des rétrodiffusions d'huile
    Description produit :
    Adapté aux procédés (SEMI ou non) :
    LPCVD, PECVD, ALD, MOCVD, Gravure métal, HVPE,...
    3 étages de piégeage :
    Étage #1 :
    Stoppe les grosses particules, condense les liquides/solides volatiles sur des grandes surfaces
    Module de refroidissement optionnel (eau ou liquide réfrigérante) :
    améliore la condensation, abaisse la température des gaz
    Étages #2 & #3 :
    filtrent les particules de plus en plus fines et les éléments corrosifs (personnalisable)

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