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  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7700
    Electronique analogique
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique
    NO ou NF
    Étanchéité élastomère
    Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
    Description produit :
    Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7800
    Electronique analogique
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
    Description produit :
    Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série Transformer®
    Electronique numérique
    Programmables Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    Conçus avec des composants de la plate-forme Aera® et des circuits numériques haute vitesse éprouvés sur le terrain, les MFC Transformer offrent une performance de fiabilité supérieure, avec une dérive du zéro de < 0,5 % sur un an. Ils fournissent les résultats constants que vous attendez des produits Aera®, augmentant l'efficacité et la répétabilité de vos process, maximisant les performances et améliorant les rendements.
    Avec seulement 8 MFC Transformer multigaz et multigamme, vous pouvez remplacer des centaines de "spares" et de références !
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série HC100
    Temps de réponse ultra-rapide (0.5 sec)
    10 millions de cycles
    Construction robuste pour les procédés ALD
    Communications :
    DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
    Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...50SLM
    Vanne piezoélectrique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    Les séries HC100/HM100 ont des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
    Dans les procédés ALD, la fréquence d'ouverture/fermeture est importante. La série HC100 est conçue pour supporter 10 millions de cycles de vie, grâce à un circuit de pilotage optimise, un élément PIEZO dans la vanne, et un diaphragme en alliage Co-Ni.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série HC102
    Temps de réponse ultra-rapide (0.7 sec)
    10 millions de cycles
    Construction robuste pour les procédés ALD
    Communications :
    DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
    Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...50SLM à 0...200SLM
    Vanne piezoélectrique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    La série HC102 est le modèle MFC numérique pour très haut débit (Multi-Gaz Multi-Gamme).
    Il conserve les caractéristiques de la gamme HC100 en terme de précision et de plage de contrôle du débit.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série HG200
    Temps de réponse ultra-rapide (0.3 sec)
    Fonctionnement "pressure insensitive" (compensé en pression)
    Fonction Auto-diagnostic et apprentissage des réponses
    Construction robuste pour les procédés ALD
    Communications :
    DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
    Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...50SLM
    Vanne piezoélectrique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    La série HG200 a des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
    Elle satisfait à un excellent temps de réponse, 0.3s (de Multi-1 à Multi-5) grâce à l'utilisation d'un algorithme amélioré.
    La fonction "pression insensitive" permet un contrôle stable du débit en cas de fluctuation de la pression en amont ou en aval du MFC.

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