RFDS

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  Advanced Energy
  

  Produit Obsolète

  Description produit :

  Retrofit possible vers Paramount

  RetrofitRetrofit

• Générateur Paramount RF

  Advanced EnergyModèle : Paramount® RF
  

  Puissance de 1.5 à 10 kW

  Fréquences :

  2, 13, 27, 40 et 60 MHz

  Fréquence variable et pulsé

  Description produit :

  Faites progresser le développement de vos processus en mettant l'accent sur la flexibilité de fonctionnement. Les générateurs RF Paramount® offrent une large gamme de fréquences et de puissances, prennent en charge de multiples scénarios d'intégration et sont équipés d'interfaces série ou analogiques standard. La Paramount HP 10013 offre une puissance plus élevée permettant une densité de plasma et une énergie ionique élevées requises par les dispositifs à rapport d'aspect élevé et accélère le processus pour le prochain nœud des outils de traitement des semi-conducteurs.

  L'architecture numérique de la plateforme Paramount permet une gestion précise de la puissance et rationalise l'intégration de nouvelles fonctions - aucun délai ni changement de matériel n'est nécessaire. La détection en temps réel des changements de plasma permet d'obtenir une puissance de sortie élevée et des performances reproductibles. Et les limites de protection internes facilitent un fonctionnement fiable.

  Fiche techniqueFiche technique

• Integro

  Advanced EnergyModèle : Integro
  

  Produit Legacy

  Puissance 300 ou 600 W

  Fréquence 13.56 MHz

  Description produit :

  Combiné générateur et boite d'accord