RFDS

Marque	Advanced Energy
Modèle

Générateur Paramount RF

Advanced EnergyModèle : Paramount® RF

Puissance de 1.5 à 10 kW
Fréquences :: 2, 13, 27, 40 et 60 MHz; Fréquence variable et pulsé

Description produit :

Faites progresser le développement de vos processus en mettant l'accent sur la flexibilité de fonctionnement. Les générateurs RF Paramount® offrent une large gamme de fréquences et de puissances, prennent en charge de multiples scénarios d'intégration et sont équipés d'interfaces série ou analogiques standard. La Paramount HP 10013 offre une puissance plus élevée permettant une densité de plasma et une énergie ionique élevées requises par les dispositifs à rapport d'aspect élevé et accélère le processus pour le prochain nœud des outils de traitement des semi-conducteurs.

L'architecture numérique de la plateforme Paramount permet une gestion précise de la puissance et rationalise l'intégration de nouvelles fonctions - aucun délai ni changement de matériel n'est nécessaire. La détection en temps réel des changements de plasma permet d'obtenir une puissance de sortie élevée et des performances reproductibles. Et les limites de protection internes facilitent un fonctionnement fiable.

Fiche technique Fiche technique

Générateur RF APEX

Advanced EnergyModèle : Apex®

Puissance de 1.5 à 10 kW
Fréquences :: 13,56 MHz

Description produit :

Les générateurs RF Apex® présente une conception compacte et modulaire adaptée au montage en chambre. Utilisant une technologie de conversion RF sophistiquée, les générateurs RF et les systèmes d'alimentation Apex offrent une fiabilité accrue des produits et des processus. Les capacités de puissance à haute densité les rendent idéaux pour les procédés plasma avancés. Et les différents modèles de communication et les caractéristiques configurables vous permettent de personnaliser votre plate-forme et d'explorer des approches d'intégration. Aucun délai de livraison de générateurs personnalisés n'est nécessaire.

Fiche technique