- Pour colonne 70L, 100L ou 200L
- Détection de fin de capacité de la colonne :
- « Endpoint », capteur électrochimique
- *Option « Mini-Absorber »
- Abattement des gaz résiduels dans la ligne de bypass)
- Contrôle en face avant
- Affichage LED statut , pilotage via un automate.
- Sorties relais et Interface digitale
- RS232
CLEANSORB® FABLINE
| Marque | CS Clean Solutions |
|---|---|
| Modèle | CS070FS, CS100FS, CS200FS |
- Le système FABLINE est le modèle standard pour l’élimination des gaz nocifs dans le cadre de la Production. Il est disponible en trois tailles et peut être adapté de manière optimale aux exigences d’une ligne pilote tout comme à une usine de production. Avec plusieurs milliers de systèmes d’absorption sur lit sec (« dry bed ») installés dans le monde entier, le FABLINE est le modèle idéal grâce aux granulés CLEANSORB® exclusifs. Combinant sécurité et efficacité, il couvre un large éventail d’applications:
- Gravure Plasma (« Etch »), CVD, ALD, Implantation Ionique et CIGS Photovoltaïque.
- Les avantages :
- Principe de fonctionnement passif :
- sans électricité, chauffage, carburant ou eau.
- Composants inox 316L résistant à la corrosion, haute qualité et faibilité
- Des routines automatiques de test de fuite (par tenue en pression) et de purge par gaz inerte simplifient le remplacement de la colonne
- Large éventail de configurations et d’options, dont un ventilateur.
- Disponible en version conforme norme SEMI-S2, avec fonctions de sécurité redondantes.