- Gammes de débit pleine échelle :
- 0…0,025 SCCM à 0…5000 SLM
- Pression d’entrée max :
- 145 psig (10 Bar)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l’un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.