- Gammes de débit pleine échelle :
- 0…0,025 SCCM à 0…5000 SLM
- Pression d’entrée max :
- 145 psig (10 Bar)
- Temps de réponse :
- < 10ms
Régulateur de débit massique
| Marque | ALICAT Scientific |
|---|---|
| Modèle | Série MC |
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l’un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
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- Description produit :
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-
Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCE
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
- Pression d'entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4" VCR
- Description produit :
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
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- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCV
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
- Pression d'entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4" VCR
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- Description produit :
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
- Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide iafin déviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.