- Temps de réponse ultra-rapide (0.3 sec)
- Fonctionnement « pressure insensitive » (compensé en pression)
- Fonction Auto-diagnostic et apprentissage des réponses
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0…10 SCCM à 0…50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
Régulateur de débit massique Aera®
| Marque | Hitachi Metals Ltd |
|---|---|
| Modèle | Série HG200 |
- La série HG200 a des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d’arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Elle satisfait à un excellent temps de réponse, 0.3s (de Multi-1 à Multi-5) grâce à l’utilisation d’un algorithme amélioré.
- La fonction « pression insensitive » permet un contrôle stable du débit en cas de fluctuation de la pression en amont ou en aval du MFC.
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- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...200SLM
- Vanne magnétique
- NO ou NF
- Étanchéité élastomère
- Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
- Description produit :
- Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
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Régulateur de débit massique Aera®
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- Temps de réponse ultra-rapide (0.5 sec)
- 10 millions de cycles
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- Les séries HC100/HM100 ont des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Dans les procédés ALD, la fréquence d'ouverture/fermeture est importante. La série HC100 est conçue pour supporter 10 millions de cycles de vie, grâce à un circuit de pilotage optimise, un élément PIEZO dans la vanne, et un diaphragme en alliage Co-Ni.
-
Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série Transformer®
- Electronique numérique
- Programmables Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...200SLM
- Vanne magnétique NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- Conçus avec des composants de la plate-forme Aera® et des circuits numériques haute vitesse éprouvés sur le terrain, les MFC Transformer offrent une performance de fiabilité supérieure, avec une dérive du zéro de < 0,5 % sur un an. Ils fournissent les résultats constants que vous attendez des produits Aera®, augmentant l'efficacité et la répétabilité de vos process, maximisant les performances et améliorant les rendements.
- Avec seulement 8 MFC Transformer multigaz et multigamme, vous pouvez remplacer des centaines de "spares" et de références !