Régulateur de débit massique

Produits similaires

• Régulateur de débit massique

  ALICAT ScientificModèle : Série MCQ
  

  Gammes de débit pleine échelle :

  0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM

  Pression d'entrée max :

  320 psia (22 Bar abs)

  Temps de réponse :

  < 10ms

  Description produit :

  Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.

  Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.

  Version haute pression.

  Fiche Technique

• Régulateur de débit massique

  ALICAT ScientificModèle : Série MCW
  

  Gammes de débit pleine échelle :

  0...0,5 SCCM à 0...1000 SLM

  Pression d'entrée max :

  60 psia (4,1 Bar abs)

  Temps de réponse :

  < 10ms

  Faible perte de charge :

  jusque 5mBar !

  Description produit :

  Les MFC de la série "Whisper" d'Alicat sont conçus pour contrôler les débits lorsque la pression disponible du système est faible.

  La faible perte de charge minimise l'impact du système, permettant le contrôle du débit à des pressions proches de l'atmosphère et réduisant les temps de réponse du système.

  Fiche Technique

• Régulateur de débit massique

  ALICAT ScientificModèle : Série MCE
  

  Gammes de débit pleine échelle :

  0...0,5 SCCM à 0...20 SLM

  Pression d'entrée max :

  160 psia (11 Bar abs)

  Temps de réponse :

  < 10ms

  Raccords 1/4" VCR

  Description produit :

  Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.

  Protégez l’uniformité de vos couches minces en contrôlant plus rapidement les débits de gaz réactifs.

  Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.

  Fiche Technique