- Protection des pompes à palettes et pompes sèches
- Grande capacité, haute conductance
- Protège le process des rétrodiffusions d’huile
- Adapté aux procédés (SEMI ou non) :
- LPCVD, PECVD, ALD, MOCVD, Gravure métal, HVPE,…
- 3 étages de piégeage :
- Étage #1 :
- Stoppe les grosses particules, condense les liquides/solides volatiles sur des grandes surfaces
- Module de refroidissement optionnel (eau ou liquide réfrigérante) :
- améliore la condensation, abaisse la température des gaz
- Étages #2 & #3 :
- filtrent les particules de plus en plus fines et les éléments corrosifs (personnalisable)
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Piège pour le vide
Mass VacModèle : Posi®Trap
- Large gamme de matériaux de filtres
- Maintenance simple
- Aucun retour de contaminants
- Description produit :
- Le POSI-TRAP se compose d'un corps en acier inoxydable, disponible en deux tailles. Les deux modèles peuvent être équipés de ports en ligne ou à 90°. Les filtres du POSI-TRAP sont scellés à l'entrée et à la sortie pour permettre le piégeage de l'ensemble du flux de gaz.
- Les filtres du POSI-TRAP sont livrés avec l'appareil. Vous pouvez sélectionner l'élément filtrant choisi en ajoutant le code de filtre correspondant.
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Piège pour le vide
Mass VacModèle : Visi®Trap
- Large gamme de matériaux de filtres
- Maintenance simple, sans démonter le piège de la ligne
- Protège le process des rétrodiffusions d'huile
- Description produit :
- Les pièges VISI-TRAP se composent d'un carter en plastique transparent avec un filtre à particules pour protéger les pompes contre la corrosion ou le vide contre le reflux de l'huile de la pompe.
- Il existe deux tailles de filtre (4,5" ou 9,5") et une large gamme d'éléments filtrants et d'adaptateurs de raccordement pour votre application.