- Electronique numérique
- Programmables Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0…10 SCCM à 0…200SLM
- Vanne magnétique NO ou NF
- Étanchéité métal
Régulateur de débit massique Aera®
| Marque | Hitachi Metals Ltd |
|---|---|
| Modèle | Série Transformer® |
- Conçus avec des composants de la plate-forme Aera® et des circuits numériques haute vitesse éprouvés sur le terrain, les MFC Transformer offrent une performance de fiabilité supérieure, avec une dérive du zéro de < 0,5 % sur un an. Ils fournissent les résultats constants que vous attendez des produits Aera®, augmentant l'efficacité et la répétabilité de vos process, maximisant les performances et améliorant les rendements.
- Avec seulement 8 MFC Transformer multigaz et multigamme, vous pouvez remplacer des centaines de « spares » et de références !
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HC102
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- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...50SLM à 0...200SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- La série HC102 est le modèle MFC numérique pour très haut débit (Multi-Gaz Multi-Gamme).
- Il conserve les caractéristiques de la gamme HC100 en terme de précision et de plage de contrôle du débit.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HC100
- Temps de réponse ultra-rapide (0.5 sec)
- 10 millions de cycles
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- Les séries HC100/HM100 ont des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Dans les procédés ALD, la fréquence d'ouverture/fermeture est importante. La série HC100 est conçue pour supporter 10 millions de cycles de vie, grâce à un circuit de pilotage optimise, un élément PIEZO dans la vanne, et un diaphragme en alliage Co-Ni.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HG200
- Temps de réponse ultra-rapide (0.3 sec)
- Fonctionnement "pressure insensitive" (compensé en pression)
- Fonction Auto-diagnostic et apprentissage des réponses
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- La série HG200 a des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Elle satisfait à un excellent temps de réponse, 0.3s (de Multi-1 à Multi-5) grâce à l'utilisation d'un algorithme amélioré.
- La fonction "pression insensitive" permet un contrôle stable du débit en cas de fluctuation de la pression en amont ou en aval du MFC.