- Gammes de débit pleine échelle :
- 0…0,5 SCCM à 0…20 SLM
- Pression d’entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4″ VCR
Régulateur de débit massique
| Marque | ALICAT Scientific |
|---|---|
| Modèle | Série MCE |
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
- Protégez l’uniformité de vos couches minces en contrôlant plus rapidement les débits de gaz réactifs.
- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l’encombrement est aux normes SEMI.
Produits similaires
-
Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MC
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 145 psig (10 Bar)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Description produit :
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
-
Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCQ- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 320 psia (22 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Description produit :
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
- Version haute pression.
-
Régulateur de débit PVQ
SMCModèle : PVQ
- Corps en laiton ou inox.
- Contrôle du débit par un signal analogique externe Débit :
- Jusqu'à 100 l/min
- Description produit :
- Les applications qui requièrent des débits sans à-coups et précis bénéficient désormais de l'application parfaite grâce a l'électrovanne proportionnelle de la nouvelle série PVQ.Conçue pour une large gamme dapplications y compris de vide (0,1 Pa abs), la vanne PVQ règle le débit avec précision et sans à-coups en réglant de façon externe l'entrée du courant électrique. Le revêtement spécial des pièces mobiles externes permet daccroître la durée de vie jusqu'à plus de 25 millions de cycle et de réduire à un minimum le bruit émis pendant l'ouverture et la fermeture de la vanne.