- Puissance jusqu’à 6kW
- Pour nettoyage Oxygène
Rapid OX
| Marque | Advanced Energy |
|---|---|
| Modèle | Rapid OX |
- Avec un revêtement de chambre en quartz unique, insérable et amovible par l’utilisateur, le Rapid OX d’Advanced Energy est optimal pour les procédés à base d’oxygène.
- Idéal pour le nettoyage des chambres de photorésist et de carbone :
- Le revêtement en quartz réduit la recombinaison de l’oxygène et assure un transport efficace des espèces réactives vers la chambre de traitement.
- Des performances parfaites :
- 6 kW de puissance pour dissocier l’oxygène avec une fréquence variable et un contrôle de la puissance.
- Conception fiable :
- La conception de la chambre et de l’insert amovible offre une meilleure fiabilité que les chambres entièrement en quartz
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- Des performances éprouvées :
- Une fiabilité inégalée avec des performances éprouvées sur le terrain
- Méthode d'allumage unique :
- Réduisez les temps d'arrêt de l'outil grâce à un allumage au plasma fiable.
- Pas besoin de revêtements coûteux :
- Un alliage personnalisé et une anodisation avancée garantissent une plus longue durée de vie de la chambre.
- Nettoyage rapide de chambre :
- Taux élevé de dissociation des gaz d'alimentation pour un fonctionnement efficace.