- Capteur combiné 2 Piezo / 1 Pirani
- Gamme de pression :
- 1200 à 1e-4 mbar abs
- -1060,,+340mbar rel
- Communications :
- 0/10 V, RS485, Ethercat, Profinet
- Le transducteur à vide VSL a été développé spécialement pour les loadslocks. La jauge métallique scellée utilise une technologie multi-capteurs et combine deux piézos avec un capteur Pirani. Par conséquent, le transducteur de vide mesure la pression absolue dans la plage de 1200 … 1e-4 mbar ainsi que la pression relative par rapport à l’environnement dans la plage de -1060 … +340 mbar.