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Evaporation

  • Mini-Source Omicron Technologies

    Mini-Source

    Vaporisateur thermique pour sources liquides

    Idéale pour applications R&D et faibles débits

    • TEOS,
    • HMDS,
    • TiCL4,...

    Sans gaz vecteur

    Régulation du débit massique du précurseur vaporisé,

    Coffret de contrôle des différentes zones de température,

    Container inox 250cm3

    Options :

    • Traçage de la ligne d'injection
    • Module de purge pour produits toxiques/corrosifs

  • Contrôle et injection de précurseurs Omicron Technologies

    Contrôle et injection de précurseurs

    Vaporisateur thermique pour précuseurs à faible pression de vapeur

    LVD-200

    • Régulation en température du précurseur jusqu'à 150°C
    • Mesure de ΔP sur un orifice calibré (interchangeable)
    • Vanne piezoélectrique de régulation du débit
    • Fonctionnement sous vide

    Composants UHP, soudure orbitale,

    Montage dans coffret compact

    Test de fuite Hélium

    Pilotage par coffret / automate

    Injection thermorégulée jusqu'à l'intérieur du réacteur

  • Générateurs de vapeur d'eau Omicron Technologies

    Générateurs de vapeur d'eau

    Génération de vapeur d'eau par évaporation directe, sans gaz vecteur

    Module de vaporisation :

    • Container inox 316L, régulé en température et pression
    • Dispositif de sécurité (soupape, thermostat)
    • Contrôle du débit de vapeur d'eau par un MFC haute température

    Fonctionnement sous vide / pression atmosphérique

    Pilotage par coffret de contrôle

    Gamme de débit variable : nous consulter

  • Sublimateurs Omicron Technologies

    Sublimateurs

    Sublimation de poudres et injection dans un four d'enrobage

    • Creuset métallique régulé en température (200°C)
    • Coffret de protection en inox poli, isolation thermique, dispositif de sécurité (verrouillage)
    • Injecteur double paroi, thermorégulé jusqu'à l'intérieur du réacteur

    Armoire électrique de contrôle, régulation de température

    Pilotage par l'automate de l'équipement (liaison MODBUS-TCP/IP)