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Evaporation
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NanoSource Omicron Technologies
Système d’évaporation avec réglage de débit
Idéale pour les alimentations en précurseurs de chambre de dépôt sous vide
- CVD,
- PECVD,
- ALD,...
Sans gaz vecteur
Régulation du débit massique du précurseur vaporisé par une vanne mircométrique,
Coffret de contrôle des différentes zones de température,
Container inox disponible en différents volumes
Options :
- Ligne chauffée
- Platine de purge pour produits toxiques/corrosifs
- Support aluminium
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Mini-Source Omicron Technologies
Vaporisateur thermique pour sources liquides
Idéale pour applications R&D et faibles débits
- TEOS,
- HMDS,
- TiCL4,...
Sans gaz vecteur
Régulation du débit massique du précurseur vaporisé,
Coffret de contrôle des différentes zones de température,
Container inox 250cm3
Options :
- Traçage de la ligne d'injection
- Module de purge pour produits toxiques/corrosifs
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Contrôle et injection de précurseurs Omicron Technologies
Vaporisateur thermique pour précuseurs à faible pression de vapeur
LVD-200
- Régulation en température du précurseur jusqu'à 150°C
- Mesure de ΔP sur un orifice calibré (interchangeable)
- Vanne piezoélectrique de régulation du débit
- Fonctionnement sous vide
Composants UHP, soudure orbitale,
Montage dans coffret compact
Test de fuite Hélium
Pilotage par coffret / automate
Injection thermorégulée jusqu'à l'intérieur du réacteur
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Générateurs de vapeur d'eau Omicron Technologies
Génération de vapeur d'eau par évaporation directe, sans gaz vecteur
Module de vaporisation :
- Container inox 316L, régulé en température et pression
- Dispositif de sécurité (soupape, thermostat)
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Contrôle du débit de vapeur d'eau par un MFC haute température
Fonctionnement sous vide / pression atmosphérique
Pilotage par coffret de contrôle
Gamme de débit variable : nous consulter
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Sublimateurs Omicron Technologies
Sublimation de poudres et injection dans un four d'enrobage
- Creuset métallique régulé en température (200°C)
- Coffret de protection en inox poli, isolation thermique, dispositif de sécurité (verrouillage)
- Injecteur double paroi, thermorégulé jusqu'à l'intérieur du réacteur
Armoire électrique de contrôle, régulation de température
Pilotage par l'automate de l'équipement (liaison MODBUS-TCP/IP)