Evaporation

• NanoSource Omicron Technologies

  

  Système d’évaporation avec réglage de débit

  Idéale pour les alimentations en précurseurs de chambre de dépôt sous vide

  • CVD,
  • PECVD,
  • ALD,...

  Sans gaz vecteur

  Régulation du débit massique du précurseur vaporisé par une vanne mircométrique,

  Coffret de contrôle des différentes zones de température,

  Container inox disponible en différents volumes

  Options :

  • Ligne chauffée
  • Platine de purge pour produits toxiques/corrosifs
  • Support aluminium
  • BrochureNanosourceEN.pptx (2.46 Mo)
  • BrochureNanosourceFR.pptx (2.93 Mo)

• Mini-Source Omicron Technologies

  

  Vaporisateur thermique pour sources liquides

  Idéale pour applications R&D et faibles débits

  • TEOS,
  • HMDS,
  • TiCL4,...

  Sans gaz vecteur

  Régulation du débit massique du précurseur vaporisé,

  Coffret de contrôle des différentes zones de température,

  Container inox 250cm³

  Options :

  • Traçage de la ligne d'injection
  • Module de purge pour produits toxiques/corrosifs

  • Fiche Technique (523.19 Ko)

• Contrôle et injection de précurseurs Omicron Technologies

  

  Vaporisateur thermique pour précuseurs à faible pression de vapeur

  LVD-200

  • Régulation en température du précurseur jusqu'à 150°C
  • Mesure de ΔP sur un orifice calibré (interchangeable)
  • Vanne piezoélectrique de régulation du débit
  • Fonctionnement sous vide

  Composants UHP, soudure orbitale,

  Montage dans coffret compact

  Test de fuite Hélium

  Pilotage par coffret / automate

  Injection thermorégulée jusqu'à l'intérieur du réacteur

• Générateurs de vapeur d'eau Omicron Technologies

  

  Génération de vapeur d'eau par évaporation directe, sans gaz vecteur

  Module de vaporisation :

  • Container inox 316L, régulé en température et pression
  • Dispositif de sécurité (soupape, thermostat)

  • Contrôle du débit de vapeur d'eau par un MFC haute température

  Fonctionnement sous vide / pression atmosphérique

  Pilotage par coffret de contrôle

  Gamme de débit variable : nous consulter

• Sublimateurs Omicron Technologies

  

  Sublimation de poudres et injection dans un four d'enrobage

  • Creuset métallique régulé en température (200°C)
  • Coffret de protection en inox poli, isolation thermique, dispositif de sécurité (verrouillage)
  • Injecteur double paroi, thermorégulé jusqu'à l'intérieur du réacteur

  Armoire électrique de contrôle, régulation de température

  Pilotage par l'automate de l'équipement (liaison MODBUS-TCP/IP)