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Mini-Source Omicron Technologies

Vaporisateur thermique pour sources liquides

Idéale pour applications R&D et faibles débits

  • TEOS,
  • HMDS,
  • TiCL4,...

Sans gaz vecteur

Régulation du débit massique du précurseur vaporisé,

Coffret de contrôle des différentes zones de température,

Container inox 250cm3

Options :

  • Traçage de la ligne d'injection
  • Module de purge pour produits toxiques/corrosifs