- Idéale pour les alimentations en précurseurs de chambre de dépôt sous vide
- CVD,
- PECVD,
- ALD,…
NanoSource
| Marque | Omicron Technologies |
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- La « Nanosource » est destinée à évaporer un liquide (ou sublimer un solide) et à réguler le débit massique en phase vapeur, qui, dans les conditions ambiantes de température, n’a pas une pression de vapeur suffisante pour permettre une régulation avec les moyens usuels.
- Le système fonctionne en évaporation directe et ne nécessite donc pas de gaz vecteur. Le principe consiste à chauffer le liquide à vaporiser afin de réguler et stabiliser la pression de vapeur dans le container. Le débit est ajusté au moyen d’une vanne multi tours micrométrique, qui opère comme un orifice d’écoulement ajustable.