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Contrôle et injection de précurseurs Omicron Technologies

Vaporisateur thermique pour précuseurs à faible pression de vapeur

LVD-200

  • Régulation en température du précurseur jusqu'à 150°C
  • Mesure de ΔP sur un orifice calibré (interchangeable)
  • Vanne piezoélectrique de régulation du débit
  • Fonctionnement sous vide

Composants UHP, soudure orbitale,

Montage dans coffret compact

Test de fuite Hélium

Pilotage par coffret / automate

Injection thermorégulée jusqu'à l'intérieur du réacteur