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Alimentation gaz & vapeurs sur chariot mobile Omicron Technologies

Ensemble destiné à l'étude de la croissance par MOCVD/ALD d'oxydes nanostructurés (analyse optique et rayons X synchrotron)

Panneau de détente/régulation de 6 gaz:

  • Régulation des débits massiques,
  • Composants UHP, tout VCR®, soudure orbitale, Ra 0.25µm
  • Montage sur supports "ULINE"
  • Test de fuite hélium

Evaporateur de précurseur (DEZ):

  • Module gaz chauffé
  • Enceinte de sécurité, isolée thermiquement

Ensemble compact, mobile, léger (contraintes de déplacement multi-site)