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Pièges & Filtres

  • Piège pour le vide Mass-Vac

    Piège pour le vide

    Nouveau !

    Série Posi®Trap

    Filtration "Positive" : le flux à filtrer passe intégralement par le filtre, pas de retour de contaminants.

    Étanchéité des filtres en entrée/sortie (joints nitrile)

    Simplicité de remplacement des filtres, du nettoyage du piège.

    Filtres disponibles dans différents média (voir article "Éléments Filtrants")

    Corps 4'' et 8'' (en ligne ou en angle)

    Matériau du corps : Inox

    Raccordement :
    Brides ISO-KF, du DN25 au DN50

  • Piège pour le vide Mass-Vac

    Piège pour le vide

    Nouveau !

    Série Visi®Trap

    Piègeage des vapeurs, de l'eau ou des particules,...

    Protège les pompes des matières/corps étrangers
    Protège le process des rétrodiffusions d'huile

    Éléments filtrant remplaçables sans démonter le piège de la ligne de pompage.

    Filtres disponibles dans différents média (voir article "Éléments Filtrants")

    Taille du corps : 4.5'' (114mm) ou 9.5'' (241mm)

    Matériaux :

    • Carter en polypropylène
    • Bol en styrène acrylonitrile (SAN).

    Raccordement :
    Taraudé G 3/4'' (possiblité adaptateurs ISO-KF DN25 ou DN40)

  • Piège pour le vide, multi-étage Mass-Vac

    Piège pour le vide, multi-étage

    Nouveau !

    Série MV Multi-Trap®


    Grande capacité, haute conductance

    Protection des pompes à palettes et pompes sèches


    Télécharger "MV Multi-Trap Application Questionnaire"

    Contactez-nous pour définir la meilleure configuration pour votre application

    Adapté aux procédés (SEMI ou non) :

    • LPCVD, PECVD, ALD, MOCVD, Gravure  métal, HVPE,...

    3 étages de piègeage :

    • Étage #1 : stoppe les grosses particules, condense  les liquides/solides volatiles sur des grandes surfaces
    • Module de refoidissement optionnel (eau ou liquide réfrigérante) : améliore la condensation, abaisse la température des gaz
    • Étages #2 & #3 : filtrent les particules de plus en plus fines et les éléments corrosifs (personnalisable)

    3 tailles de piège: 10'', 12'', 16''

    Module de refroidissement : compatible toute taille.

    Matériaux : Corps Inox, Joints Nitrile

    Raccordement :
    ISO-KF  DN40, 50 ou ISO-K DN80, 100, 160

    Filtres disponibles dans différents média (voir "Éléments Filtrants")

    Version "Cooled Baffle" (procédés GaN, InP, etch Al,...)

  • Éléments Filtrants Mass-Vac

    Éléments Filtrants

    Eléments Filtrants pour tous les Procédés, tous les systèmes

    Choix du média en fonction de l'application

    Cartouches facilement remplaçables

    Changement du type de cartouche possible en cas de modification du procédé.

    2 tailles disponibles.

    Média au choix :

    • Gaze Cuivre,
    • Gaze Inox,
    • Tamis moléculaire (zéolithe®)
    • Sodasorb®
    • Charbon actif,
    • Polypro (2µm, 5µm, 20µm)
  • Piège à brouillard d'huile Mass-Vac

    Piège à brouillard d'huile

    Nouveau !

    Modèle Visi-Mist®

    Filtration des vapeurs d'huile dans l'évent des pompes

    Filtres coalesceurs : élimination effective des vapeurs par précipitation en gouttelettes.

    Bol transparent : indication visuelle de l'encrassement de la cartouche

    Matériaux :

    • Carter en polypropylène
    • Bol en styrène acrylonitrile (SAN).

    Élément filtrant : plissé en fibre de verre, microrésistant.

    Dimensions :
    Diam. 5.5" (140 mm) x Hauteur 9.1" (231 mm)

  • Diffuseurs PALL

    Diffuseurs

    Série ChamberKleen™

    • Seuil filtration : 0.0003 µm
    • Débit max. : 150 SLM
    • Connexion : ISO-KF 25 à 63
    • Matériaux : Inox 316L, joint FKM

    Pour remise à l'air des "load lock" ou chambres sous vide ("vent")

    Permet la filtration de gros volumes de gaz sur une courte période.

Produits et Services associés