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Vapeurs

  • Piezocon® Veeco

    Piezocon®

    Instrument de mesure de concentration en phase vapeur

     

    Mesure de concentration de gaz ou de vapeur dans un mélange binaire

    Principe de mesure acoustique

    Trés grande précision et stabilité à long terme

    Applications:

    • Epitaxie CVD et MO-CVD
    • Contrôle de précurseurs
    • Contrôle de dopants
    • Mélangeurs de gaz hautes performances
  • Mini-Source Omicron Technologies

    Mini-Source

    Vaporisateur thermique pour sources liquides

    Idéale pour applications R&D et faibles débits

    • TEOS,
    • HMDS,
    • TiCL4,...

    Sans gaz vecteur

    Régulation du débit massique du précurseur vaporisé,

    Coffret de contrôle des différentes zones de température,

    Container inox 250cm3

    Options :

    • Traçage de la ligne d'injection
    • Module de purge pour produits toxiques/corrosifs

  • OVG-4 Owlstone

    OVG-4


    Génération de mélanges gazeux complexes et étalons (NIST/UKAS)

    • Technologie : tubes à perméation
    • + 500 analytes chimiques disponibles (COVs, gaz environnementaux, explosifs,...)
    • Gaz vecteur : Air comprimé ou Azote, sans impuretés, point de Rosée -35°C

    Application :

    • Etalonnage des capteurs instrumentaux industriels scientifiques

    S'intègre dans un système GEN-SYS

  • V-OVG Owlstone

    V-OVG
  • OHG-4 Owlstone

    OHG-4

    Générateur d'humidité relative

    Gamme : 1 à 90% Rh (+/- 1%) Gaz vecteur : Air/Azote Débit gaz humide (en sortie) : 300 - 3000 ml/min Pression d'entrée : 40 PSIG Raccordement entrée/sortie : Swagelok® 1/4''/1''8 Alimentation : 24VDC

    S'intègre dans le système GEN-SYS

  • GEN-SYS Owlstone

    GEN-SYS

    Système modulaire de génération de mélange gazeux et atmosphères contrôllées