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Vapeurs


  Lorex Mesure de concentration en phase vapeur
Mesure de concentration en phase vapeur

Fiche technique pdf (1103 Ko)

Mesure de concentration de gaz ou de vapeur dans un mélange binaire

Principe de mesure acoustique

Trés grande précision et stabilité à long terme

Applications:

  • Epitaxie CVD et MO-CVD
  • Contrôle de précurseurs
  • Contrôle de dopants
  • Mélangeurs de gaz hautes performances
  Omicron Technologies Alimentation Vapeur pour sources liquides
Alimentation Vapeur pour sources liquides

Fiche technique pdf (34 Ko)

MiniSource

Vaporisateur thermique pour liquides

Ne nécessite pas de gaz vecteur

Solution complète prête à l'emploi

Ideal pour application Recherche et faibles débits

  • TEOS
  • HMDS
  • TICL4
  • ...

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