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Piezocon® Veeco

Instrument de mesure de concentration en phase vapeur

 

Mesure de concentration de gaz ou de vapeur dans un mélange binaire

Principe de mesure acoustique

Trés grande précision et stabilité à long terme

Applications:

  • Epitaxie CVD et MO-CVD
  • Contrôle de précurseurs
  • Contrôle de dopants
  • Mélangeurs de gaz hautes performances