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COPRA IS300 CCR Technology


Source Plasma « In Build »

Hauteur de calotte jusqu'à 1200mm

  • Puissance RF max. 3000W (13.56 MHz)
  • Pression : 1e-4...5e-3 mBar
  • Accord : piloté
  • Energie ionique : 50...250 eV
  • Densité de courant : 0.01...2 mA/cm2
  • Extraction : grounded W-grid

Applications :

  • E-gun assist