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COPRA IS300 CCR Technology
Source Plasma « In Build »
Hauteur de calotte jusqu'à 1200mm
- Puissance RF max. 3000W (13.56 MHz)
- Pression : 1e-4...5e-3 mBar
- Accord : piloté
- Energie ionique : 50...250 eV
- Densité de courant : 0.01...2 mA/cm2
- Extraction : grounded W-grid
Applications :
- E-gun assist