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COPRA 250CF CCR Technology


Source Plasma ICP Circulaire

Diamètre max. substrat : 4''

  • Puissance RF max. 1800W (13.56 MHz)
  • Pression : 1e-4 à 1mBar
  • Accord : manuel / piloté
  • Energie ionique : 10...120 eV
  • Densité de courant : 0.01...2 mA/cm2
  • Extraction : grounded W-grid

Applications :

  • R&D
  • PVD assist