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COPRA 160/200 CCR Technology


Source Plasma ICP Circulaire

Diamètre max. substrat 3''

  • Puissance RF max. 600W (13.56 MHz)
  • Accord : manuel
  • Energie ionique : 10...200 eV
  • Densité de courant : 0.01...0.5 mA/cm2
  • Extraction : grounded WO grid

Applications :

  • R&D
  • ALD assist (PEALD)