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Veeco

Vapeurs

  • Piezocon® Veeco

    Instrument de mesure de concentration en phase vapeur

     

    Mesure de concentration de gaz ou de vapeur dans un mélange binaire

    Principe de mesure acoustique

    Trés grande précision et stabilité à long terme

    Applications:

    • Epitaxie CVD et MO-CVD
    • Contrôle de précurseurs
    • Contrôle de dopants
    • Mélangeurs de gaz hautes performances