PALL

Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (80.84 Ko)

  Gasket-Sert
  Série CNF

  Seuil de filtration <0.4µm
  Média Inox 316L

  Débit : Faible
  Remplace un joint 1/4" VCR

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (69.22 Ko)

  Mini-Gaskleen
  Série 3000

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Faible

Gaz > Filtration & Purification > Purification UHP

• Purificateur UHP PALL

  

  • Fiche_technique (108.12 Ko)

  Série Mini-Gaskleen
  

  Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

  Elimine les impuretés tels O₂, H₂O, CO₂, CO, Ni(CO)₄ et Fe(CO)₅ 

  Débit : Faible

  Gaz : Inertes, inflammables, AsH₃, GeH₄, PH₃, Cl_x, NH₃, SF₆, HBr, HCl et O_x
  

• Purificateur UHP PALL

  

  • Fiche_technique (981.77 Ko)

  Série Gaskleen® SP

  Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm)

  Média : Inox 316L, catalyseur.

  Débit max : 1 SLM

  Protège le ZrO₂ (zirconium) des capteurs de concentration d'oxygène en éliminant les contaminants

  Idéal pour les "exhaust gas" en RTP, LPCVD et PECVD

• Purificateur UHP PALL

  

  • Fiche_technique (99.79 Ko)

  Série Gaskleen® II

  Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

  Elimine les impuretés tels O₂, H₂O, CO₂, CO, Ni(CO)₄ et Fe(CO)₅

  Débit max : 3 SLM @1 Barg

  Pour Gaz : Inertes, inflammables, AsH₃, GeH₄, PH₃, Cl_x, NH₃, SF₆, HBr, HCl et O_x

• Purificateur UHP PALL

  

  • Fiche_technique (93.82 Ko)

  Série Gaskleen® ST

  Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

  Elimine les impuretés tels O₂, H₂O, CO₂, CO, Ni(CO)₄ et Fe(CO)₅

  Débit max : 5 SLM @1 Barg

  Pour gaz : Inertes, inflammables, AsH₃, GeH₄, PH₃, Cl_x, NH₃, SF₆, HBr, HCl et O_x

Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (93.62 Ko)

  Mini-Gaskleen HF
  Série 3100

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Faible

Gaz > Filtration & Purification > Purification UHP

• Purificateur UHP PALL

  

  • Fiche_technique (98.79 Ko)

  Série Maxi-Gaskleen

  Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

  Elimine les impuretés tels O₂, H₂O, CO2, CO, Ni(CO)₄ et Fe(CO)₅

  Débit : Elevé

  Gaz : Inertes, inflammables, AsH₃, GeH₄, PH₃, Cl_x, NH₃, SF₆, HBr, HCl et O_x

Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (95.69 Ko)

  Gaskleen
  Série 6101

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Intermédiaire

Vide et ultravide > Pièges & Filtres

• Diffuseurs PALL

  

  • ChamberKleen DN25&63 - A45a.pdf (88.92 Ko)
  • ChamberKleen DN40&50- MECKDNEN.pdf (218.08 Ko)

  Série ChamberKleen™

  • Seuil filtration : 0.0003 µm
  • Débit max. : 150 SLM
  • Connexion : ISO-KF 25 à 63
  • Matériaux : Inox 316L, joint FKM

  Pour remise à l'air des "load lock" ou chambres sous vide ("vent")

  Permet la filtration de gros volumes de gaz sur une courte période.

Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (95.69 Ko)

  PFA Gaskleen
  Série 6101

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Intermédiaire
  Pour O2 et gaz spéciaux

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (83.05 Ko)

  Ultramet-L
  Série 6600

  Seuil de filtration <3nm
  Média Inox 316L

  Débit : Elevé

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (87.52 Ko)

  Gaskleen IV
  Série 6400

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Elevé

• Filtre UHP PALL

  

  • Fiche_technique (95.93 Ko)

  Maxi-Gaskleen
  Séries 8202/9202

  Seuil de filtration <3nm
  Média PTFE

  Débit : Elevé