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PALL

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Gaz > Filtration & Purification > Purification UHP

  • Purificateur UHP PALL

    Série Mini-Gaskleen

    Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

    Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5 

    Débit : Faible

    Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox

  • Purificateur UHP PALL

    Série Gaskleen® SP

    Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm)

    Média : Inox 316L, catalyseur.

    Débit max : 1 SLM

    Protège le ZrO2 (zirconium) des capteurs de concentration d'oxygène en éliminant les contaminants

    Idéal pour les "exhaust gas" en RTP, LPCVD et PECVD

  • Purificateur UHP PALL

    Série Gaskleen® II

    Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

    Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5

    Débit max : 3 SLM @1 Barg

    Pour Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox

  • Purificateur UHP PALL

    Série Gaskleen® ST

    Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

    Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5

    Débit max : 5 SLM @1 Barg

    Pour gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox

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  • Purificateur UHP PALL

    Série Maxi-Gaskleen

    Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)

    Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5

    Débit : Elevé

    Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox

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Vide et ultravide > Pièges & Filtres

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