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PALL

Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP
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Filtre UHP PALL
Gasket-Sert
Série CNFSeuil de filtration <0.4µm
Média Inox 316LDébit : Faible
Remplace un joint 1/4" VCR -
Filtre UHP PALL
Mini-Gaskleen
Série 3000Seuil de filtration <3nm
Média PTFEDébit : Faible
Gaz > Filtration & Purification > Purification UHP
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Purificateur UHP PALL
Série Mini-GaskleenFiltration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)
Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5
Débit : Faible
Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox
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Purificateur UHP PALL
Série Gaskleen® SP
Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm)
Média : Inox 316L, catalyseur.
Débit max : 1 SLM
Protège le ZrO2 (zirconium) des capteurs de concentration d'oxygène en éliminant les contaminants
Idéal pour les "exhaust gas" en RTP, LPCVD et PECVD
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Purificateur UHP PALL
Série Gaskleen® II
Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)
Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5
Débit max : 3 SLM @1 Barg
Pour Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox
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Purificateur UHP PALL
Série Gaskleen® ST
Filtration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)
Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5
Débit max : 5 SLM @1 Barg
Pour gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox
Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP
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Filtre UHP PALL
Mini-Gaskleen HF
Série 3100Seuil de filtration <3nm
Média PTFEDébit : Faible
Gaz > Filtration & Purification > Purification UHP
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Purificateur UHP PALL
Série Maxi-GaskleenFiltration Ultramet-L intégrée ( <3nm avec média inox)
Elimine les impuretés tels O2, H2O, CO2, CO, Ni(CO)4 et Fe(CO)5Débit : Elevé
Gaz : Inertes, inflammables, AsH3, GeH4, PH3, Clx, NH3, SF6, HBr, HCl et Ox
Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP
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Filtre UHP PALL
Gaskleen
Série 6101Seuil de filtration <3nm
Média PTFEDébit : Intermédiaire
Vide et ultravide > Pièges & Filtres
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Diffuseurs PALL
Série ChamberKleen™
- Seuil filtration : 0.0003 µm
- Débit max. : 150 SLM
- Connexion : ISO-KF 25 à 63
- Matériaux : Inox 316L, joint FKM
Pour remise à l'air des "load lock" ou chambres sous vide ("vent")
Permet la filtration de gros volumes de gaz sur une courte période.
Gaz > Filtration & Purification > Filtration UHP
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Filtre UHP PALL
PFA Gaskleen
Série 6101Seuil de filtration <3nm
Média PTFEDébit : Intermédiaire
Pour O2 et gaz spéciaux -
Filtre UHP PALL
Ultramet-L
Série 6600Seuil de filtration <3nm
Média Inox 316LDébit : Elevé -
Filtre UHP PALL
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Filtre UHP PALL
Maxi-Gaskleen
Séries 8202/9202Seuil de filtration <3nm
Média PTFEDébit : Elevé