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IN USA

Générateurs, mesure de concentration, destruction des effluents (03)

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  • Systeme d'alimentation en ozone IN USA

    Modèle Mini-ODS

    Concentration max : 330g/m3 ou 21.5 % en masse

    Pour ozone en phase gazeuse ou liquide

    Intègre dans un rack 19" :

    • Le générateur
    • Le capteur de concentration
    • Les MFC d'oxygène et d'azote
    • Le déverseur
    • Les électrovannes
    • L'électronique de contrôle/commande
  • Système d'Alimentation en Ozone IN USA

    Modèle ODS

    Applications Semiconducteurs

    Système de production d'ozone UHP clef en main

    Concentration ozone max. : 350g/Nm3

    Débit  O2/N2: jusqu'à 100 lpm (contrôlé par MFC embarqués)

    Pression de sortie Ozone : 30 PSIA (2 Bar abs)

    Intégration dans une baie exhaustée

    Configuration sur mesure possible

    Adaptatable aux spécifications nécessaires (concentration, débit, production d'ozone,...)

    Interfaçage avec les équipements (interlock, EMO,...)

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Gaz > Ozone > Destruction d'effluents

  • Destructeur d'ozone IN USA

    Modèle O3-CAT

    Destruction d'ozone gazeux

    Principe : Catalytique

    Concentration max : 340 g/m3

    Débit max : 40 SLM

    Ne demande aucun consommable

    Fonctionne à température ambiante

    Option "heater" pour ozone chargé en humidité

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Gaz > Ozone > Mesure concentration

  • Analyseur d'ozone en phase liquide IN USA

    Modèle dFFOZ-TR

    Mesure en ligne et en continu de la concentration d'ozone dissous dans l'eau Ultrapure

    Concentration : 0...1ppm

    Débit : 0,75...1,5SLM

    Raccords :

    Méthode de mesure : absorption UV haute précision

    Faible maintenance :
    remplacement lampe UV tous les 2 ans.

    Avec contrôleur Mini-SCI-N
    (Résolution : 1 ppbv)

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