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Advanced Energy Industries

Alimentations DC / DC Pulsé, générateurs de puissance RF, sources d'ion et de plasmas.

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Plasmas > DC / DC+

Plasmas > LF / MF

Plasmas > RF > Générateurs

Plasmas > RF > Boîtes d'accord

Plasmas > Sources Plasmas

  • LITMAS® RPS 1501 et 3001 Advanced Energy Industries


    Source plasma ICP avec générateur, boîte d'accord et chambre intégrés

    • Fréquence RF : 1.7...3 MHz
    • Alimentation : 208VAC 3P, 50/60Hz
    • Chambre : Quartz (SiO2) ou Céramique (Al2O3)
    • Puissance : 100W...1500W (1501) ou 3000W (3001), ajustable
    • Interface : Analogique / RS232
    • Refroidissement : Eau

    Applications :

    • Wafer pre-clean
    • Photoresist Strip
    • Dépôt / Gravure couches-minces (PEALD, PECVD, PEPVD, PERIE)
    • ...